DRIE信息详情
三
drice───德里斯
dried───adj.(食物、花等)干的,除去水分的,脱水的;v.使变干(dry的过去式和过去分词)
drier───n.干燥机;干燥剂;吹风机;adj.更干燥的
dries───n.间歇出露区;干出(dry的复数形式);v.变干燥;停奶(dry的第三人称单数);n.(Dries)人名;(英)德赖斯;(法)德里
drive───v.开车;(机动车)被驾驶;拥有……汽车;开车送某人;推动;钉;开凿;驱赶;迫使,逼迫;激励;挖掘;猛击(球);吹,刮;猛落;围赶(猎物);使(抽象事物)发生或发展;n.驱车旅行,驾车路程;传动装置;驱动器;(人的)强烈欲望;魄力,内驱力;(有组织的)活动;快车道;猛抽;(对牲口的)驱赶;猛击,大规模攻击;玩纸牌的聚会
Brie───n.布里干酪(一种白色柔软的干酪)
Erie───n.伊利湖(北美五大湖之一);伊利(美国港市);伊利人
die───vi.死亡;凋零;熄灭;vt.死,死于……;n.冲模,钢模;骰子;n.(Die)(法、美、德)迭(人名)
dree───v.忍耐;忍受;adj.凄凉的;沉闷的;使人意志消沉的,令人沮丧的(同dreich)
Emerging 3d interconnection technologies and high volume MEMS applications require cost effective mass production DRIE systems.───新兴的3d互联技术以及高产量的MEMS应用需要成本低廉以及高产量的深层反应离子刻蚀系统。
This accelerometer is fabricated by N type silicon wafer. To obtain high aspect ratio structure, deep reactive ion etching(DRIE) process is employed.───加速度计用普通的N型硅片制造,为了刻蚀高深宽比的结构,使用了深反应离子刻蚀(DRIE)工艺。
optimizing DRIE parameters and RIE etching the trenches' opening, the ideal trench profile is obtained to ensure that the trenches are fully refilled without voids.───参数优化的DRIE刻蚀深硅槽,并用反应离子刻蚀(RIE)对深槽开口形状进行修正,制造了具有理想侧壁形状的深槽,利于介质的完全填充,避免产生空洞。
Fabrication of Ultra Deep Electrical Isolation Trenches with High Aspect Ratio Using DRIE and Dielectric Refill───用深反应离子刻蚀和介质填充技术制造具有高深宽比的超深电隔离槽
Trench Profile Control of Silicon DRIE Process on ICP Tools───ICP体硅深刻蚀中侧壁形貌控制的研究
This accelerometer is fabricated by N type silicon wafer. To obtain high aspect ratio structure, deep reactive ion etching(DRIE) process is employed.